超纯水处理

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        半导体 晶圆加工必须用到大量高质量的去离子水,用于混 合一些工艺化学品,并在下 一步工艺之前冲洗晶圆。精密过 滤器用于去除较大的颗粒并为反渗透系统提供保护。亲水过滤器是在RO之后使用的,并且经 常在漂洗应用中使用。

        全聚丙 烯精密过滤器可以防止较大颗粒,为反渗透提供保护。我们的 精密过滤器系列的精度可达0.02微米,并且确 保用于最关键应用的去离子水不含有限制的颗粒。

        ZTEC微电子 级滤芯代表了我们在超纯水技术方面的最新进展。 过滤膜 本身具有亲水性,不含可 能污染纯水和超纯水的表面活性剂或润湿剂。 PES膜具有 优异的流动特性,高纳污 能力和亚微米颗粒去除能力。 

         树脂捕 捉过滤器可防止离子交换床释放的潜在灾难性下游污染物。

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